Pass/Fail을 넘어 치수·형상 데이터 확보

METROLOGY
SurfaceMetrix 3D
표면·형상·단차·버·비드 3D 계측 — 생산 속도에서 3D 형상을 수치화하고 Recipe, 교정, SPC, Lot 추적과 연결하는 인라인 계측 컨셉입니다.
P0 · 기획·검증교정·Recipe·측정 이력의 구조화
공정 원인 분석을 위한 SPC 데이터 제공
COMPONENTS
구성
- 3D Sensor
- Motion & Trigger
- Metrology Engine
- QualityOS Connector
INTEGRATION
연동
- Laser/Structured Light
- Encoder·PLC
- MES·QMS
- QualityOS
DELIVERABLES
산출물
- 측정 요구사항·GR&R 계획
- 교정·기준편 관리
- Recipe·검사 영역 정의
- FAT/SAT 측정 리포트
VALIDATION ITEMS
공개 사양보다 먼저 확인할 항목
실제 샘플과 설비 조건을 기반으로 아래 항목을 검증한 뒤 성능·사양·일정을 확정합니다.
- 01측정 범위·분해능
- 02표면 재질
- 03라인 속도
- 04교정·MSA
- 05환경 진동·온도